Firma

NaWoTec

NaWoTec GmbH war ein Spin-off aus der Zentralen Forschungsabteilung der Deutschen Telecom AG. Die Firma entwickelte einen Prozess zur Strukturierung von Oberflächen im Nonometerbereich. Dies wurde mit einem kontrollierten Elektronenstrahl (E-Beam) erreicht, der auf der Oberfläche präzise chemische Reaktionen verursachte. Durch die Kontrolle des E-Beam konnten komplexe 3-D Strukturen von bis zu 4nm errichtet werden.
Die NaWoTec Nanostrukturierungstechnologie war in der Lage Material sowohl zu deponieren oder auch zu entfernen.
Hauptanwendungen für die Nawotec Produkte lagen hauptsächlich in der Halbleiterindustrie und hier primär in der Reparatur von Photolithographiemasken bei der Chipherstellung.
Im Mai 2005 wurde die Firma sehr erfolgreich an die Carl Zeiss AG verkauft.

Partner: Waldemar Jantz
Geschäftsfeld: Nanotechnologie für die Halbleiterfertigung
Standort: Rossdorf/Darmstadt
Gegründet: Dezember 1999
Datum der Beteiligung: November 2002
Phase der Beteiligung: Early Stage
Status: In 2005 an Carl Zeiss AG verkauft

Unternehmer

Frank Averdung CEO

Frank Averdung